电阻真空计即采用电阻技术的真空计，一般先校准零点，再进行满度校准。H9N检测VBA
原理H9N检测VBA
金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。H9N检测VBA
通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。H9N检测VBA
单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立H9N检测VBA
Q=I2R=Qg+Qr+Qs(1)H9N检测VBA
Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。H9N检测VBA
气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为H9N检测VBA
Qg=αΛπda(T-T0)p(2)H9N检测VBA
如图所示,T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。剩下的Qs和Qr可以分别表示如下H9N检测VBA
Qs=Sκ(T-T0)/L(3)H9N检测VBA
Qr=πdaσε(T4-T04)(4)H9N检测VBA
(3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,L是电极的长度。H9N检测VBA
(4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为H9N检测VBA
I2R=Ap+I02R(5)H9N检测VBA
A=αΛπda(T-T0)(6)H9N检测VBA
I0是压力为0的时候细线的电流,是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。A式是不依存压力的定数如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过(5)式求得压力P。H9N检测VBA
校准H9N检测VBA
一般先校准零点，再进行满度校准。H9N检测VBA
(1)校准零点。H9N检测VBA
校准零点需对被测真空系统抽真空，一旦电离规测得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9X10^-2Pa)，按"校零"按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正零点，当显示1.0^-1Pa时，表示规管零点已校准。H9N检测VBA
对于无自动零点校准的电阻真空计，可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。H9N检测VBA
(2)满度校正。H9N检测VBA
校准完零点后，需对其满度校正。按满度校正过程要求，对被测炉腔放人大气，确保被校电阻规所测位置为大气状态，在大气压下工作约10分钟。H9N检测VBA
按"满度"按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正满度，当显示1.0^5Pa时，表示规管满度已校准。H9N检测VBA
对于无自动满度校准的电阻真空计，可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。H9N检测VBA
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标签: 电阻真空计
电阻真空计电阻真空计的原理是怎样的？_电阻真空计
电阻真空计即采用电阻技术的真空计，一般先校准零点，再进行满度校准。H9N检测VBA
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原理
Pirani皮拉尼真空计构造如图所示。金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立H9N检测VBA
Q = I2R = Qg + Qr + Qs (1)H9N检测VBA
Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。H9N检测VBA
气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为H9N检测VBA
Qg = αΛπda(T-T0)p (2)H9N检测VBA
如图所示,T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。 剩下的Qs和Qr可以分别表示如下H9N检测VBA
Qs = Sκ(T-T0)/L (3)H9N检测VBA
Qr = πdaσε(T4-T04) (4)H9N检测VBA
(3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,L是电极的长度。H9N检测VBA
(4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为H9N检测VBA
I2R = Ap + I02R (5)H9N检测VBA
A = αΛπda(T-T0) (6)H9N检测VBA
I0是压力为0的时候细线的电流, 是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。A式是不依存压力的定数如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过(5)式求得压力P。H9N检测VBA
校准
一般先校准零点，再进行满度校准。H9N检测VBA
(1)校准零点。校准零点需对被测真空系统抽真空，一旦电离规测得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9 X10^-2Pa)，按"校零"按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正零点，当显示1.0^-1Pa时，表示规管零点已校准。对于无自动零点校准的电阻真空计，可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。H9N检测VBA
(2)满度校正。校准完零点后，需对其满度校正。按满度校正过程要求，对被测炉腔放人大气，确保被校电阻规所测位置为大气状态，在大气压下工作约10分钟。按"满度"按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正满度，当显示1.0^5 Pa时，表示规管满度已校准。对于无自动满度校准的电阻真空计，可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。H9N检测VBA
